前30 min頂部沉積速率的異常下降是由于預(yù)處理后時間過
長造成的。在電化學(xué)反應(yīng)之前銅離?和添加劑分?的充分擴
散導(dǎo)致在初始階段相對較快的沉積。隨著反應(yīng)的進?，電解
液中的銅離?從陰極接受電?并不斷轉(zhuǎn)化為銅。隨著縱橫比
的增加，銅離?向底部的擴散速率降低。銅離?的傳質(zhì)限制
降低了沉積到底部的速率。同時，銅離?在頂部的積累提?
了沉積速率。逐漸地，頂部的電沉積速率超過底部的電沉積
速率，終導(dǎo)致接縫缺陷。
TSV制作流程會涉及到深刻蝕、PVD、CVD、銅填充、微凸點及RDL電 鍍、清
洗、減薄、鍵合等??余種設(shè)備，其中通孔制作、絕緣層/阻擋層/ 種?層的沉
積、銅填充、晶圓減薄、晶圓鍵合等?序涉及的設(shè)備為關(guān) 鍵，在某種程度上
直接決定了TSV的性能指標。
基于玻璃通孔的MEMS封裝
2013年，LEE等利用玻璃穿孔技術(shù)實現(xiàn)射頻MEMS器件的晶圓級封裝， 采用電
鍍?案實現(xiàn)通孔的完全填充，通過該?案制作的射頻MEMS器件在 20GHz時具
有0.197dB的低插?損耗和20.032dB的?返回損耗。2018年， LAAKSO等創(chuàng)造性
地使用磁輔助組裝的?式來填充玻璃通孔，并用于 MEMS器件的封裝中。
所屬分類：電子產(chǎn)品制造設(shè)備/蝕刻機
本文鏈接：http://www.hjatt.net/sell/info-6f20nqh0s0d5e4.html
漢高樂泰導(dǎo)電膠,楊浦厚膜漢高ABLESTIKJM7000導(dǎo)電膠
面議
產(chǎn)品名：漢高ABLESTIKJM7000導(dǎo)電膠,JM7000導(dǎo)電膠,漢高導(dǎo)電膠,樂泰導(dǎo)電膠
ablestik84-1A導(dǎo)電膠
面議
產(chǎn)品名：導(dǎo)電膠,耐高溫導(dǎo)電膠,84-1A導(dǎo)電膠,84-1LMI導(dǎo)電膠
湛江樂泰LB8008潤滑劑潤滑劑
面議
產(chǎn)品名：樂泰 LB 8008 潤滑劑,潤滑劑
白山泰羅松MS939密封膠
面議
產(chǎn)品名：泰羅松 MS 939 密封膠,密封膠
西寧M4D9-17劃片刀
面議
產(chǎn)品名：M4D9-17 劃片刀,半導(dǎo)體晶圓切割刀
果洛樂泰JM7000導(dǎo)電膠
面議
產(chǎn)品名：樂泰 JM7000導(dǎo)電膠,導(dǎo)電銀膠
朔州樂泰609固持膠金屬膠
面議
產(chǎn)品名：樂泰 609 固持膠,金屬膠
濮陽樂泰SI5970密封膠
面議
產(chǎn)品名：樂泰 SI5970 密封膠,硅酮密封劑